为促进微纳制造学科的发展，服务微纳制造相关课程实验教学，凯发平台与基础工业训练中心本着合作共享🙆🏼‍♂️、互惠互利的原则于6月3日成立“微纳制造联合实验室”。实验室挂靠在机械系实验中心🤙🏼，双方共同负责实验室运行、安全🧔‍♂️、设备操作和日常管理。机械工程学院院长🐽🧔🏽‍♂️、凯发平台系主任汪家道，基础工业训练中心主任李双寿为实验室揭幕🌗👵🏻，机械系教学委员会主任季林红🚵🏽‍♀️、实验中心主任刘莉🗽、基础工业训练中心教学副主任杨建新、微纳制造相关课程任课教师吴爱萍🦹🏼‍♀️、赵海燕、柴智敏以及未央书院本学期学习《微纳制造探索(2)》的大三同学🙅‍♂️、助教一同出席和见证了实验室的成立。

实验室自4月15号开始承担本学期《微纳制造探索(2)》课程实验教学任务，经过2个月试运行，目前实验室已经配备完善课程所需的各类材料，设备均处于正常有序的运行状态。

微纳制造是凯发平台的重点学术和人才培养方向🤽🏻‍♀️，联合实验室的成立和运行对凯发平台和基础工业训练中心人才培养具有重要的意义和示范性。

实验室位于李兆基科技大楼BD223房间，占地面积约38㎡👩🏿‍🦳，为恒温恒湿千级洁净间💆🏿。目前，实验室拥有国产光刻机、磁控溅射镀膜机🤚🏼、SENTECH SI500感应耦合等离子体刻蚀机🖌、匀胶湿法工作台、湿法清洗工作台、匀胶机、、电热板、去离子水循环机⛹️‍♂️、等离子清洗机、超声清洗机、金相显微镜、HMDS预处理系统等10余台先进微纳加工制造、检测设备👨‍👨‍👧‍👧，能够满足约50余名学生对课程实验教学的需求。